PVD HSE 主任工程师/技术副理(J10476)

职位描述

1.设备管理与维护:

负责PVD（Sputter, ALD TiN, ALD TaN, ALD W, CVDW, ECP）设备的全生命周期管理，包括安装、调试、验收、日常维护、故障排除及性能优化。

制定设备预防性维护计划，确保设备uptime和工艺稳定性达到目标（如≥95%）。

2.工艺支持与优化:

配合工艺团队优化PVD薄膜均匀性、附着力、电阻率等关键参数，解决设备相关的工艺异常问题。

主导设备硬件改造或参数调优，提升沉积速率、靶材利用率及产品良率。

3.团队领导与技术培训:

指导初/中级工程师及技术员完成设备维护、故障排查，编写标准作业流程（SOP）和故障处理指南。

组织技术培训，提升团队设备操作、安全规范及问题分析能力。

4.备件与成本管控:

管理备件库存，优化备件生命周期及供应商渠道，降低维护成本。

评估二供方关键部件（如靶材、电源、真空泵等），推动降本增效项目。

5.新设备导入与国产化:

主导新PVD设备的选型、技术评估及验收，协同厂商完成安装调试。

推动核心零部件（如ESC、真空系统）的国产化替代，缩短交期并降低采购成本。

6.数据分析与持续改进:

利用FDC（故障检测与分类）、SPC等工具监控设备参数，提前预警潜在风险。

主导设备相关的不良分析（如颗粒污染, 填孔能力异常，膜厚偏移），推动根本原因改善。

7.安全与规范合规:

确保设备符合EHS（环境、健康、安全）及行业规范（如SEMI标准）。

管理高电压、真空腔体、有毒气体（如有）等高风险操作，完善安全操作规程。

任职要求

1.8年以上PVD设备经验，熟悉Sputter, ALD TiN, ALD TaN, ALD W, CVDW, ECP等至少一种技术；有团队管理经验。

2.精通真空系统、等离子体电源、自动化控制（PLC/PC），具备较强故障逻辑分析能力。

3.半导体晶圆制造镀膜优先。

4.有跨部门协作或研发项目支持经验。