量测工艺经理（CD-SEM Metrology）(J14536)

职位描述

1. 负责关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM） 设备的Recipe建立、校准及日常维护，确保量测精度和重复性满足工艺控制要求。

2. 针对光刻、刻蚀等关键工艺后的图形结构，执行高精度亚纳米级线宽、节距、侧壁角度等CD测量，为工艺调试和良率分析提供数据支持。

3. 处理CD-SEM量测中的异常情况（如图像漂移、充电效应等），优化成像参数，降低测量不确定性。

4. 参与研发阶段新工艺节点的CD量测方案开发，包括CD-SEM与OCD量测结果的交叉验证。

5. 撰写量测报告，定期与工艺整合、光刻/刻蚀工程团队沟通量测结果，推动工艺窗口优化。

任职要求

1. 硕士及以上学历，物理、电子工程、应用物理、材料等相关专业。

2. 8年以上半导体行业经验，熟悉CD-SEM原理及主流机台（如Hitachi CG系列、AMAT VeritySEM、ASML HMI等）。

3. 具备电子束成像基础知识，了解低电压成像、电荷中和等实用技术。

4. 有SEM图像分析经验，对图像算法或量测噪声有一定理解者优先。

5. 工作细致，责任心强，能适应净化间工作环境。