TD Litho工艺专家(J10932)

职位描述

1.新产线建构与维护,LITHO光刻设备机台评估与导入，确定RFQ满足需求；

2.评估工艺视窗以及机台能力并且展开工艺窗口扩大；

3.产品工艺指标(OVL/CD/Image)监测开眼以及稳定度管控；

4.负责在线产品工艺问题诊断与解决,对异常工艺设备的跟踪/核查；

5.审查签属工艺技术文件、产品技术条件、工艺标准与工艺规程等工艺资料；

6.新技术移转与产能产量提升，实现产能最佳化；

7.负责协调跨部会合作，协助转移新研发技术成功量产；

8.核心团队建立以及基础人员培训，负责团队的管理与赋能；

任职要求

1.硕士及以上学历，微电子、物理、光学、材料、化学等相关专业；

2.8年及以上半导体光刻工艺经验，具备逻辑工艺开发能力（掌握SMO& Patterning开发），2年以上研发团队管理经验；

3.熟练掌握Track& Scanner& CDSEM& OVL等机台的工作原理、操作及可针对性开展工艺参数优化；

4.掌握Mask相关知识及质量管控，掌握Frame及Mark design基础；

5.熟练掌握光刻核心工艺指标理论（CD/DoF/LWR/OVL/NZO/Defect）及其影响因素；

6.擅长团队组建、人才培养、激励；团队间协作能力强；项目管理及技术推动能力强。